臭氧是无毒安全气体，在浓度高于1.5ppm以上时臭氧刺激人的呼吸系统，为此，臭氧协会制定安全卫生标准：(1ppm=1毫克/立方米) 国际臭氧协会：0.1ppm，接触10小时；美国：0.1ppm，接触8小时； 德、法、日等国：0.1ppm，接触10小时；中国：0.15ppm，接触8小时。其浓度与接触时间的乘积可视为基准点。
臭氧浓度在0.02ppm时，嗅觉敏捷的人便可觉察，称为感觉临界值，浓度在0.15ppm时为嗅觉临界值，一般人都能嗅出，也是卫生标准点。当浓度达到1-10ppm时，称为刺激范围，10ppm以上时为中毒值。
人们对臭氧的感知浓度仅是0.02～0.04ppm，与安全浓度还有一定间隔。在室内利用臭氧净化空气，闻到臭氧味时基本上已达到消毒的作用。大约在0.02ppm时就会感到空气特别清新，雷雨之后空气中的清爽感就是由于雷电产生的大量臭氧和负离子的原因。一些科学家断定，若自然界没有臭氧，人类会遭受很多额外的灾害，所以对臭氧的评价是“天赐的净化剂”。从臭氧的“发现”至今世界上无一例因臭氧中毒死亡事故发生。
国家卫生部规定的臭氧安全浓度为0.1ppm，工业卫生标准为0.15ppm，劳动保护部门规定在安全浓度下允许工作不超过10小时。然而，人们能闻到的臭氧浓度一般为0.02ppm，离安全浓度还相差甚远。由于臭氧有强烈刺激性，人们在感到不适时早已避开，因此在使用过程中一般不会出现中毒现象。
臭氧是一种不稳定的气体，它的半衰期只有三十分钟左右，不需要刻意去消除它，在常温下，它最多也就存在三十分钟左右，之后还原成氧气。如果非要去消除它的话，可以让空气流动，冲淡臭氧浓度，最后达到消除；还可以加温，当温度达到60摄氏度左右时，臭氧会迅速还原成氧气。
工业生产/食品加工中臭氧气体一般用于消毒，而如何去监测消毒过程中臭氧有没有达到消毒标准，则需要用到便携式/固定式臭氧检测仪设备，这边推荐使用元特生产的SKY2000/SG100机型系列设备。设备采用进口品牌传感器检测精度高重复性好，且送检国家计量单位检测包过检；设备还可以配套数据存储导出功能可以记录整个消毒过程中的臭氧浓度变化，数值可直观呈现，不需要人工不定时记录。
